EDX能量色散X射線分析儀是x射線能譜分析的一種儀器傳遞。在電子與物質(zhì)相互作用時,采用能聚焦的入射電子可以激發(fā)初級x射線不斷完善,不同元素發(fā)射出來的特征x射線波長不同發揮效力,能量也不同。利用x射線能量不同而展譜一般稱為x射線能譜分析或能量色散x射線分析勞動精神,所用設(shè)備通常稱為能量色散譜儀穩定發展。
EDX能量色散X射線分析主要單元是半導(dǎo)體探測器及多道脈沖高度分析器,用以將特征x射線按能量展i}}Er7,5的分辨率遠(yuǎn)不如波長色散譜儀明顯,它有分析速度快的優(yōu)點(diǎn)更好,和通用的x射線波長色散譜儀相比可提高10倍,如果進(jìn)行物相鑒定技術創新,只需幾分鐘就可以得到被測物質(zhì)的全部衍射花樣效高性。
根據(jù)分光方式的不同,X射線熒光分析可分為能量色散和波長色散兩類技術發展,也就是通常所說的能譜儀和波譜儀重要的作用,縮寫為EDXRF和WDXRF。
EDX能量色散X射線分析通過測定熒光X射線的能量實(shí)現(xiàn)對被測樣品的分析的方式稱之為能量色散X射線熒光分析自動化,相應(yīng)的儀器稱之為能譜儀重要的意義,通過測定熒光X射線的波長實(shí)現(xiàn)對被測樣品分析的方式稱之為波長色散X射線熒光分析,相應(yīng)的儀器稱之為X射線熒光光譜儀更優美。
根據(jù)激發(fā)方式的不同需求,X射線熒光分析儀可分為源激發(fā)和管激發(fā)兩種:用放射性同位素源發(fā)出的X射線作為原級X射線的X熒光分析儀稱為源激發(fā)儀器;用X射線發(fā)生器(又稱X光管)產(chǎn)生原級X射線的X熒光分析儀稱為管激發(fā)儀器更為一致。
根據(jù)分析能力的大小還可分為多元素分析儀器和個別元素分析儀器各方面。這種稱呼多用于能量色散型儀器。在波長色散型儀器中落地生根,根據(jù)可同時分析元素的多少可分為占,單道掃描X熒光光譜儀、小型多道X熒光光譜儀和大型X熒光光譜儀成效與經驗。