掃描電鏡主要由七大系統(tǒng)組成穩定，即電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)探測(cè)處理和顯示系統(tǒng)齊全、圖像記錄系統(tǒng)廣泛關註、樣品室、真空系統(tǒng)機製、冷卻循環(huán)水系統(tǒng)服務好、電源供給系統(tǒng)。

1.電子光學(xué)系統(tǒng)包括電子槍流動性、電磁透鏡、掃描線圈生產效率、樣品室等反應能力，主要用于產(chǎn)生一束能量分布極窄的、電子能量確定的電子束用以掃描成象競爭激烈。

2.信號(hào)探測(cè)處理和顯示系統(tǒng)：電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡成束后投入力度，打到樣品上與樣品相互作用，會(huì)產(chǎn)生二次電子學習、背散射電子技術、俄歇電子以及X射線等一系列信號(hào)。所以需要不同的探測(cè)器譬如二次電子探測(cè)器、X射線能譜分析儀等來(lái)區(qū)分這些信號(hào)以獲得所需要的信息結構重塑。

3.真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分推廣開來。真空柱是一個(gè)密封的柱形容器。真空泵用來(lái)在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空貢獻法治。有機(jī)械泵密度增加、油擴(kuò)散泵以及渦輪分子泵三大類，機(jī)械泵加油擴(kuò)散泵的組合可以滿足配置鎢燈絲槍的掃描電鏡的真空要求相對較高。